[实用新型]晶片定位装置有效
申请号: | 202223014619.7 | 申请日: | 2022-11-11 |
公开(公告)号: | CN218994212U | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 范中原 | 申请(专利权)人: | 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B11/00;G01N1/28;G01N23/00;G01N33/00;H01L21/66;H01L21/68 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人: | 林永协 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 定位 装置 | ||
1.晶片定位装置,其特征在于,包括:
基座,所述基座上设置有晶片承载区;
所述基座上还设置有至少一组第一定位组件与至少一组第二定位组件,所述第一定位组件包括可沿第一方向移动的第一定位件,所述第一定位组件在所述晶片承载区上形成第一定位标记;
所述第二定位组件包括可沿第二方向移动的第二定位件,所述第二定位组件在所述晶片承载区上形成第二定位标记,所述第一定位标记与所述第二定位标记相交。
2.根据权利要求1所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一定位件的数量为两个,两个所述第一定位件分别设置在所述基座第二方向上的两侧,所述第一定位标记为设置在两个所述第一定位件之间的第一标记线;
所述第二定位件的数量为两个,两个所述第二定位件分别设置在所述基座第一方向上的两侧,所述第二定位标记为设置在两个所述第二定位件之间的第二标记线。
3.根据权利要求2所述的晶片定位装置,其特征在于:
两个所述第一定位件之间还设置有第一同步轴;
两个所述第二定位件之间还设置有第二同步轴。
4.根据权利要求1所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一定位件设置有第一光线发射器,所述第一定位标记为所述第一光线发射器发出的第一光线;
所述第二定位件设置有第二光线发射器,所述第二定位标记为所述第一光线发射器发出的第二光线。
5.根据权利要求4所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一光线发射器为第一激光器;和/或,所述第二光线发射器为第二激光器。
6.根据权利要求1至5任一项所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述基座上设置有第一滑杆,所述第一定位件设有与所述第一滑杆配合第一槽口,所述第一定位件可沿所述第一滑杆滑动;
所述基座上设置有第二滑杆,所述第二定位件设有与所述第二滑杆配合第二槽口,所述第二定位件可沿所述第二滑杆滑动。
7.根据权利要求6所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一滑杆的数量为两根,两根所述第一滑杆相互平行设置,且两根所述第一滑杆分别设置在所述基座第二方向的两侧;和/或
所述第二滑杆的数量为两根,两根所述第二滑杆相互平行设置,且两根所述第二滑杆分别设置在所述基座第一方向的两侧。
8.根据权利要求6所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一定位件上设置有第一滑杆定位件,所述第一槽口设置在所述第一滑杆定位件上,所述第一滑杆定位件通过第一紧固件固定在所述第一定位件上;和/或
所述第二定位件上设置有第二滑杆定位件,所述第二槽口设置在所述第二滑杆定位件上,所述第二滑杆定位件通过第二紧固件固定在所述第二定位件上。
9.根据权利要求1至5任一项所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述基座上设置有第一滑槽,所述第一定位件设置有第一滑块,所述第一滑块在所述第一滑槽内滑动;
所述基座上设置有第二滑槽,所述第二定位件设置有第二滑块,所述第二滑块在所述第二滑槽内滑动。
10.根据权利要求9所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一滑槽的数量为两个,两个所述第一滑槽分别设置在所述基座在第二方向上的两侧;
所述第二滑槽的数量为两个,两个所述第二滑槽分别设置在所述基座在第一方向上的两侧。
11.根据权利要求9所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述第一滑块通过第三紧固件固定在所述第一定位件上;和/或
所述第二滑块通过第四紧固件固定在所述第二定位件上。
12.根据权利要求1至5任一项所述的晶片定位装置,其特征在于:
所述晶片承载区上设置有多个向上延伸的凸起部。
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