[实用新型]一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统有效
| 申请号： | 202222980552.6 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN218512830U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 万明军 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 加工 设备 安全 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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