[实用新型]一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统

说明书

本实用新型公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域，尤其涉及一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统。

背景技术

目前半导体行业采用在半导体晶圆的表面上形成有IC(Integrated Circuit，集成电路)或LSI(Large Scale Integration，大规模集成电路)等电子电路来制造半导体芯片。芯片是集成电路的载体，芯片制造涉及芯片设计、晶圆制造、晶圆加工、电性测量、切割封装和测试等工艺流程。其中，晶圆加工过程中用到了化学机械抛光工艺。

晶圆加工设备包括多种功能模块单元，如抛光单元、传输单元、量测单元、清洗单元和干燥单元等。晶圆加工设备的集成度很高，其柜体一般设置了许多防护门，对应各个功能模块。当设备急停、设备检修或运营维护时，需要打开防护门，设备内部的运行机构例如抛光部件、清洗部件等在此时需要停止运行避免造成人身损害等安全事故。因此需要在没有切断驱动器电源的情况下可以可靠的切断电机的电源，使得电机不会输出转矩，避免电机未预期的启动。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

本实用新型实施例提供了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

在一个实施例中，所述晶圆加工设备按照功能分为多个区域，位于不同区域的安全门通过各自的安全门开关连接不同的控制模块，不同的控制模块之间级联从而实现根据一个区域的安全门的开关状态控制另一个区域的伺服驱动器。

在一个实施例中，所述安全控制系统包括传输模组安全门开关和机械手安全门开关，机械手安全门开关打开时控制传输模组的伺服驱动器安全停止。

在一个实施例中，所述控制模块包括用于接收开关信号的监控单元、用于监测锁闭信号的锁定反馈单元、用于安全门开关锁定控制和STO控制的防护锁单元以及输出单元。

在一个实施例中，所述监控单元和锁定反馈单元分别与防护锁单元连接，防护锁单元与输出单元连接，所述双路开关信号输入监控单元，锁闭信号输入锁定反馈单元，STO反馈信号输入输出单元，输出单元输出STO信号和锁定解锁命令。

在一个实施例中，外部的强制解锁信号输入所述防护锁单元。

在一个实施例中，所述防护锁单元输出报警进行提示。

在一个实施例中，所述控制模块包括主控模块和扩展模块。

在一个实施例中，所述主控模块包括第一监控单元、第一锁定反馈单元、第一防护锁单元、第二监控单元、第二锁定反馈单元、第二防护锁单元以及第一与门，第一监控单元和第一锁定反馈单元分别与第一防护锁单元连接，第二监控单元和第二锁定反馈单元分别与第二防护锁单元连接，第一防护锁单元和第二防护锁单元分别与第一与门连接。