[实用新型]一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台有效
| 申请号： | 202222963276.2 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN218427614U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 毛荣昌;徐海琦;张宇平 | 申请（专利权）人： | 衢州晶哲电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 宋佳男 |
| 地址： | 324022 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片液体抛光技术领域，尤其为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧；本实用新型中，通过设置的环形挡板、环形陶瓷加热器和第二加热器，能够在甩蜡的同时，对多余的蜡进行回收并使其重新进入出蜡槽内，避免后期回收工序复杂，能过够有效节约材料，同时提高效率，节约后期处理的设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 液体 抛光 蜡台 | ||
【主权项】：
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