[实用新型]一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台

说明书

本实用新型涉及硅片液体抛光技术领域，尤其为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧；本实用新型中，通过设置的环形挡板、环形陶瓷加热器和第二加热器，能够在甩蜡的同时，对多余的蜡进行回收并使其重新进入出蜡槽内，避免后期回收工序复杂，能过够有效节约材料，同时提高效率，节约后期处理的设备成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片液体抛光技术领域，具体为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台。

背景技术

单晶硅抛光片生产有蜡工艺，需要在硅片待抛光面的背面敷上一层蜡膜。为了保证蜡膜均匀，要求硅片一定的速度高速旋转，将表面多余的蜡甩离硅片表面，现有的甩蜡台直接进行甩蜡操作或者通过挡板对将飞溅的蜡甩到挡板表面，后期再对挡板上的蜡进行回收处理，飞溅再挡板上的蜡会凝固，后期不仅需要对其进行融化，再回收时，还可能使蜡手受到污染，后期还需要对蜡液进行除杂，不仅回收效率低下，还需要购置多种设备进行处理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：

底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；

顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；

滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；

甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；

蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧。

作为本实用新型优选的方案，所述底座包括：

储蜡槽，所述储蜡槽开设在底座内部；

第一加热器，所述第一加热器固定连接在底座一侧表面；

加热柱，所述加热柱等距离固定连接在第一加热器一侧表面，所述加热柱贯穿储蜡槽一侧槽壁。

作为本实用新型优选的方案，所述蜡回收机构包括：

集蜡漏斗，所述集蜡漏斗固定安装在储蜡槽顶部槽口处；

第二加热器，所述第二加热器固定连接在底座一侧表面；

螺旋加热管，所述螺旋加热管螺旋固定在集蜡漏斗表面，所述螺旋加热管一端贯穿储蜡槽一侧槽壁，所述螺旋加热管一端与第二加热器一侧表面固定连接；

环形挡板，所述环形挡板固定连接在集蜡漏斗顶部；

环形陶瓷加热器，所述环形陶瓷加热器固定安装在环形挡板外侧表面。

作为本实用新型优选的方案，所述甩蜡机构包括：

连接杆，所述连接杆等距离固定连接在环形挡板内侧面；

固定盘，所述固定盘固定连接在连接杆一端；

甩蜡电机，所述甩蜡电机固定安装在固定盘下表面；

转轴，所述转轴与甩蜡电机输出端固定连接，所述转轴贯穿固定盘；

甩蜡台，所述甩蜡台与转轴上端固定连接；