[实用新型]一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台

权利要求书

1.一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)上表面固定连接有支撑柱(5)；

顶板(6)，所述顶板(6)固定连接在支撑柱(5)顶部；

滴蜡机构(2)，所述滴蜡机构(2)安装在顶板(6)上；

甩蜡机构(3)，所述甩蜡机构(3)设置在滴蜡机构(2)下侧；

蜡回收机构(4)，所述蜡回收机构(4)设置在甩蜡机构(3)外侧和下侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述底座(1)包括：

储蜡槽(30)，所述储蜡槽(30)开设在底座(1)内部；

第一加热器(11)，所述第一加热器(11)固定连接在底座(1)一侧表面；

加热柱(26)，所述加热柱(26)等距离固定连接在第一加热器(11)一侧表面，所述加热柱(26)贯穿储蜡槽(30)一侧槽壁。

3.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述蜡回收机构(4)包括：

集蜡漏斗(28)，所述集蜡漏斗(28)固定安装在储蜡槽(30)顶部槽口处；

第二加热器(12)，所述第二加热器(12)固定连接在底座(1)一侧表面；

螺旋加热管(27)，所述螺旋加热管(27)螺旋固定在集蜡漏斗(28)表面，所述螺旋加热管(27)一端贯穿储蜡槽(30)一侧槽壁，所述螺旋加热管(27)一端与第二加热器(12)一侧表面固定连接；

环形挡板(32)，所述环形挡板(32)固定连接在集蜡漏斗(28)顶部；

环形陶瓷加热器(31)，所述环形陶瓷加热器(31)固定安装在环形挡板(32)外侧表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述甩蜡机构(3)包括：

连接杆(29)，所述连接杆(29)等距离固定连接在环形挡板(32)内侧面；

固定盘(25)，所述固定盘(25)固定连接在连接杆(29)一端；

甩蜡电机(34)，所述甩蜡电机(34)固定安装在固定盘(25)下表面；

转轴(35)，所述转轴(35)与甩蜡电机(34)输出端固定连接，所述转轴(35)贯穿固定盘(25)；

甩蜡台(17)，所述甩蜡台(17)与转轴(35)上端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述甩蜡机构(3)包括：

空腔(18)，所述空腔(18)开设在甩蜡台(17)内部；

抽真空腔(21)，所述抽真空腔(21)设置在空腔(18)内部；

抽气吸孔(20)，所述抽气吸孔(20)开设在抽真空腔(21)顶部腔壁上；

密封圈(19)，所述密封圈(19)固定连接在抽气吸孔(20)内侧孔壁上；

抽真空泵(23)，所述抽真空泵(23)固定安装在空腔(18)内部；

抽气管(22)，所述抽气管(22)一端与抽真空泵(23)进气端口处固定连接，所述抽气管(22)一端贯穿抽真空腔(21)一侧腔壁；

出气管(24)，所述出气管(24)一端与抽真空泵(23)出气端口处固定连接，所述出气管(24)一端贯穿空腔(18)一侧腔壁。

6.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述滴蜡机构(2)包括：

抽蜡泵安装箱(9)，所述抽蜡泵安装箱(9)固定连接在顶板(6)顶部表面；

抽蜡泵(13)，所述抽蜡泵(13)安装在抽蜡泵安装箱(9)内部；

出蜡管(14)，所述出蜡管(14)固定连接在抽蜡泵(13)出蜡端口处，所述出蜡管(14)贯穿顶板(6)；

管道(7)，所述管道(7)固定连接在抽蜡泵(13)进蜡端口处，所述管道(7)一端贯穿抽蜡泵安装箱(9)一侧箱壁，所述管道(7)另一端贯穿储蜡槽(30)一侧槽壁。

7.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述滴蜡机构(2)包括：

气缸(10)，所述气缸(10)固定连接在顶板(6)上表面两侧，所述气缸(10)下端贯穿顶板(6)；

固定板(8)，所述固定板(8)固定连接在气缸(10)下端；

密封槽(33)，所述密封槽(33)开设在固定板(8)下表面，所述密封槽(33)与环形挡板(32)对应设置；

滴蜡头(16)，所述滴蜡头(16)固定安装在密封槽(33)内部顶部槽壁上，所述滴蜡头(16)贯穿密封槽(33)顶部槽壁；

软管(15)，所述软管(15)一端与出蜡管(14)一端固定连接，所述软管(15)一端与滴蜡头(16)固定连接。