[实用新型]电子级三氯氢硅分析系统有效
| 申请号： | 202222883789.2 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218629685U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 周晓咪;王春英 | 申请（专利权）人： | 唐山三孚电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/64 | 分类号： | G01N30/64;G01N30/02 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 邢智博 |
| 地址： | 063305 河北省唐山市南堡开*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种电子级三氯氢硅分析系统，涉及电子气体分析技术领域。本系统包括样品预处理机构、轻组分分离机构、重组分分离机构、载气存储装置和检测分析机构。轻组分分离机构包括第一定量环、预处理柱、第一分离柱和第二分离柱，重组分分离机构包括第二定量环、第三分离柱和第四分离柱。本系统既能够进行轻组分分析，又能够进行重组分分析，对电子级三氯氢硅的分析更加全面。并且本系统中包含多个分离柱，从而能够将极微量的气体组分分离出来，提高了分析结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级三氯氢硅 分析 系统 | ||
【主权项】：
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