[实用新型]电子级三氯氢硅分析系统

权利要求书

1.一种电子级三氯氢硅分析系统，包括：轻组分分离机构、重组分分离机构、样品预处理机构、载气存储装置和检测分析机构；其特征在于，

轻组分分离机构包括第一定量环、预处理柱、第一分离柱和第二分离柱，第一定量环分别与样品预处理机构、载气存储装置、预处理柱连接，预处理柱还分别与第一分离柱、第二分离柱、载气存储装置连接，第一分离柱和第二分离柱分别与检测分析机构连接；

重组分分离机构包括第二定量环、第三分离柱和第四分离柱，第二定量环分别与样品预处理机构、载气存储装置、第三分离柱连接，第三分离柱与第四分离柱连接，第四分离柱与检测分析机构连接。

2.根据权利要求1所述的电子级三氯氢硅分析系统，其特征在于，还包括缓冲罐，缓冲罐分别与轻组分分离机构、重组分分离机构、检测分析机构连接，缓冲罐内装有尾气吸收液。

3.根据权利要求1所述的电子级三氯氢硅分析系统，其特征在于，样品预处理机构包括液相进样管线、汽化器、气相进样管线、置换气管线、泄压管线和抽真空管线，液相进样管线与汽化器的一端连接，汽化器的另一端与气相进样管线连接，气相进样管线上分别连接有置换气管线、泄压管线和抽真空管线，液相进样管线、置换气管线、泄压管线和抽真空管线上均安装有气动隔膜阀和手动隔膜阀。

4.根据权利要求1所述的电子级三氯氢硅分析系统，其特征在于，检测分析机构包括四通切割阀和氦放电离子化检测器，四通切割阀的第二端口与氦放电离子化检测器连接。

5.根据权利要求4所述的电子级三氯氢硅分析系统，其特征在于，轻组分分离机构还包括十通进样阀和十通切换阀，十通进样阀的第二端口与样品预处理机构连接，十通进样阀的第三端口与第一定量环的一端连接，第一定量环的另一端与十通进样阀的第十端口连接，十通进样阀的第四端口和十通进样阀的第七端口分别与载气存储装置连接，十通进样阀的第五端口与预处理柱的一端连接，预处理柱的另一端与十通进样阀的第九端口连接，十通进样阀的第六端口与十通切换阀的第一端口连接；

十通切换阀的第二端口与第一分离柱的一端连接，第一分离柱的另一端与十通切换阀的第五端口连接，十通切换阀的第六端口与四通切割阀的第一端口连接，十通切换阀的第七端口与第二分离柱的一端连接，第二分离柱的另一端与十通切换阀的第十端口连接。

6.根据权利要求4所述的电子级三氯氢硅分析系统，其特征在于，重组分分离机构还包括六通进样阀和四通切换阀，六通进样阀的第一端口与第三分离柱的一端连接，第三分离柱的另一端与四通切换阀的第三端口连接，六通进样阀的第二端口与第二定量环的一端连接，第二定量环的另一端与六通进样阀的第五端口连接，六通进样阀的第四端口与样品预处理机构连接，六通进样阀的第六端口与载气存储装置连接；

四通切换阀的第二端口与第四分离柱的一端连接，第四分离柱的另一端与四通切割阀的第三端口连接。