[实用新型]电子级三氯氢硅分析系统

说明书

本实用新型提供一种电子级三氯氢硅分析系统，涉及电子气体分析技术领域。本系统包括样品预处理机构、轻组分分离机构、重组分分离机构、载气存储装置和检测分析机构。轻组分分离机构包括第一定量环、预处理柱、第一分离柱和第二分离柱，重组分分离机构包括第二定量环、第三分离柱和第四分离柱。本系统既能够进行轻组分分析，又能够进行重组分分析，对电子级三氯氢硅的分析更加全面。并且本系统中包含多个分离柱，从而能够将极微量的气体组分分离出来，提高了分析结果的准确性。

技术领域

本实用新型涉及电子气体分析技术领域，尤其涉及一种电子级三氯氢硅分析系统。

背景技术

电子气体指半导体延伸、离子注进、掺杂、腐蚀、洗涤等过程中使用到的一些化学气体。电子气体中有一些气体具有低沸点、高腐蚀性、有毒、与空气中的某些成分发生发应等特性。极微量的污染便会对电子级的物料造成很大的影响，因此分析系统必须保证洁净无污染。

目前国内没有电子级三氯氢硅标准，只有硅外延用三氯氢硅标准，且标准方法用的是热导检测器（Thermal Conductivity Detector，TCD），仪器灵敏度较低。进行分析时，采用进样针进样，只能分析氯硅烷组分，不能准确分析极微量的其它气体组分，分析结果不够全面。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种电子级三氯氢硅分析系统，以解决上述问题。

基于上述目的，本实用新型提供了一种电子级三氯氢硅分析系统，包括：轻组分分离机构、重组分分离机构、样品预处理机构、载气存储装置和检测分析机构；轻组分分离机构包括第一定量环、预处理柱、第一分离柱和第二分离柱，第一定量环分别与样品预处理机构、载气存储装置、预处理柱连接，预处理柱还分别与第一分离柱、第二分离柱、载气存储装置连接，第一分离柱和第二分离柱分别与检测分析机构连接；重组分分离机构包括第二定量环、第三分离柱和第四分离柱，第二定量环分别与样品预处理机构、载气存储装置、第三分离柱连接，第三分离柱与第四分离柱连接，第四分离柱与检测分析机构连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本系统既能够进行轻组分分析，又能够进行重组分分析，并且本系统中包含多个分离柱，从而能够将极微量的气体组分分离出来，对电子级三氯氢硅的分析更加全面。

进一步地，本系统还包括缓冲罐，缓冲罐分别与轻组分分离机构、重组分分离机构、检测分析机构连接，缓冲罐内装有尾气吸收液；对排出系统的尾气进行处理，防止污染空气。

进一步地，样品预处理机构包括液相进样管线、汽化器、气相进样管线、置换气管线、泄压管线和抽真空管线，液相进样管线与汽化器的一端连接，汽化器的另一端与气相进样管线连接，气相进样管线上分别连接有置换气管线、泄压管线和抽真空管线，液相进样管线、置换气管线、泄压管线和抽真空管线上均安装有气动隔膜阀和手动隔膜阀。

进一步地，检测分析机构包括四通切割阀和氦放电离子化检测器，四通切割阀的第二端口与氦放电离子化检测器连接；相比于传统方式中的热导检测器，氦放电离子化检测器的灵敏度更高。

进一步地，轻组分分离机构还包括十通进样阀和十通切换阀，十通进样阀的的第二端口与样品预处理机构连接，十通进样阀的第三端口与第一定量环的一端连接，第一定量环的另一端与十通进样阀的第十端口连接，十通进样阀的第四端口和十通进样阀的第七端口分别与载气存储装置连接，十通进样阀的的第五端口与预处理柱的一端连接，预处理柱的另一端与十通进样阀的的第九端口连接，十通进样阀的第六端口与十通切换阀的第一端口连接；十通切换阀的第二端口与第一分离柱的一端连接，第一分离柱的另一端与十通切换阀的第五端口连接，十通切换阀的第六端口与四通切割阀的第一端口连接，十通切换阀的第七端口与第二分离柱的一端连接，第二分离柱的另一端与十通切换阀的第十端口连接。