[实用新型]卡盘边缘清洁装置有效
| 申请号： | 202222876551.7 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218775236U | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 郭茨良;张军;谢强 | 申请（专利权）人： | 上海鼎泰匠芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 许丹 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种卡盘边缘清洁装置，包括基座、旋转架和刮刀；基座设有轨道和放置空间，放置空间用于放置卡盘，卡盘呈圆柱形结构，包括相互垂直的上表面和侧面，轨道的路径呈圆形且环绕放置空间设置；旋转架滑动连接于轨道，以沿轨道相对基座转动；刮刀连接于旋转架且朝向放置空间设置，刮刀远离旋转架的一端设有两个刀面，两个刀面相互垂直设置；上述方案中，通过将卡盘放置在放置空间内，通过刮刀设置两个相互垂直的刀面分别对应卡盘的上表面和侧壁，再通过旋转架带动刮刀环绕卡盘转动，使得在旋转架转动时，刮刀同时清洁卡盘的上表面和侧面，从而提高卡盘的清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 边缘 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海鼎泰匠芯科技有限公司，未经上海鼎泰匠芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222876551.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：飞行器用集成式伺服电机
- 下一篇：一种新型飞机盒结构
