[实用新型]卡盘边缘清洁装置有效
| 申请号: | 202222876551.7 | 申请日: | 2022-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN218775236U | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
| 发明(设计)人: | 郭茨良;张军;谢强 | 申请(专利权)人: | 上海鼎泰匠芯科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B1/04 | 分类号: | B08B1/04;B08B1/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 许丹 |
| 地址: | 200135 上海市浦东新区自由*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 卡盘 边缘 清洁 装置 | ||
1.一种卡盘边缘清洁装置,其特征在于,包括:
基座,所述基座设有轨道和放置空间,所述放置空间用于放置卡盘,所述卡盘呈圆柱形结构,包括相互垂直的上表面和侧面,所述轨道的路径呈圆形且环绕所述放置空间设置;
旋转架,所述旋转架滑动连接于所述轨道,以沿所述轨道相对所述基座转动;
刮刀,所述刮刀连接于所述旋转架且朝向所述放置空间设置,所述刮刀远离所述旋转架的一端设有两个刀面,两个刀面相互垂直设置。
2.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述放置空间配置为所述卡盘置于所述放置空间时,所述卡盘的上表面沿水平方向设置,所述刮刀倾斜连接于所述旋转架,以使所述刮刀的两个所述刀面之一沿水平方向设置。
3.根据权利要求2所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述旋转架沿水平方向设置,所述刮刀与所述旋转架之间的夹角为45°。
4.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述刮刀通过弹性组件连接所述旋转架,所述弹性组件具有带动所述刮刀远离所述旋转架的趋势,以使所述刮刀的两个所述刀面均抵接于卡盘。
5.根据权利要求4所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述弹性组件包括固定框、弹性件和固定板,所述固定框固定连接于所述旋转架,所述固定板连接于所述刮刀靠近所述旋转架的一端,所述固定框设有开口,所述弹性件的一端连接于固定框,另一端连接于所述固定板,所述弹性件带动所述固定板沿所述开口的方向相对所述固定框滑动。
6.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述旋转架沿所述轨道的路径直径方向设置,所述旋转架的两端均滑动连接于所述轨道。
7.根据权利要求6所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述刮刀的数量为两个,两个所述刮刀分别设置于所述旋转架的两端。
8.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述刮刀的数量为多个,多个所述刮刀沿所述轨道的路径间隔分布。
9.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述旋转架和所述轨道通过轴承连接。
10.根据权利要求1所述的卡盘边缘清洁装置,其特征在于,所述旋转架设有旋转手柄。
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