[实用新型]一种单晶硅片截面打磨用研磨机有效
申请号: | 202222852283.5 | 申请日: | 2022-10-28 |
公开(公告)号: | CN218194509U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 朱黎 | 申请(专利权)人: | 嘉兴富瑞特精密机电有限公司 |
主分类号: | B24B37/08 | 分类号: | B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34 |
代理公司: | 嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所(普通合伙) 33384 | 代理人: | 姚海波 |
地址: | 314213 浙江省嘉兴市平*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及研磨机技术领域,且公开了一种单晶硅片截面打磨用研磨机,包括工作台,所述工作台的底部固定连接有支座,所述工作台的顶端固定连接有支撑柱,所述支撑柱的顶端固定连接有气缸,所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块,所述工作台的顶端内壁固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有第一连接板,所述第一连接板的顶端固定连接有第一研磨盘,所述连接块的底部固定连接有第二连接板,所述第二连接板的底部固定连接有第二研磨盘,所述工作台位于第一连接板的左侧转动连接有转杆。本实用新型可以保证单晶硅片两侧磨盘的转动同步性,提高研磨机的研磨质量,保证单晶硅片的加工效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 截面 打磨 研磨机 | ||
【主权项】:
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