[实用新型]一种单晶硅片截面打磨用研磨机

权利要求书

1.一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的底部固定连接有支座(2)，所述工作台(1)的顶端固定连接有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的顶端固定连接有气缸(4)，所述气缸(4)的活塞杆端部转动连接有连接块(5)，所述工作台(1)的顶端内壁固定连接有电机(6)，所述电机(6)的输出轴固定连接有第一连接板(7)，所述第一连接板(7)的顶端固定连接有第一研磨盘(8)，所述连接块(5)的底部固定连接有第二连接板(9)，所述第二连接板(9)的底部固定连接有第二研磨盘(10)，所述工作台(1)位于第一连接板(7)的左侧转动连接有转杆(12)，所述转杆(12)的杆壁上固定套接有第一齿轮(14)，所述第一连接板(7)的侧壁上环绕设有多个第一齿牙(13)，所述第一齿牙(13)与第一齿轮(14)相互啮合设置。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述第一连接板(7)的外侧套设有护套(11)，所述第一研磨盘(8)和第二研磨盘(10)的侧壁分别滑动设置在护套(11)的内壁，所述护套(11)的底端侧壁开设有开口。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述工作台(1)位于转杆(12)左侧的内壁转动连接有传动杆(15)，所述传动杆(15)的杆壁上固定套接有第二齿轮(16)，所述传动杆(15)的杆壁上固定套接有套筒(17)，所述套筒(17)的筒壁上环绕设有多个条状齿(18)，所述第二连接板(9)的侧壁上环绕设有多个第二齿牙(19)，所述条状齿(18)与第二齿牙(19)相互啮合设置。

4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述第一连接板(7)的顶端内壁滚动设有多个滚珠(21)，所述护套(11)位于第一连接板(7)上方的内壁开设有环形槽，所述滚珠(21)滚动设置在环形槽的内壁。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述支撑柱(3)的侧壁上固定连接有加强支撑板(20)，所述加强支撑板(20)背离支撑柱(3)的一侧设置为斜面。

6.根据权利要求2所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述护套(11)位于第一研磨盘(8)上方的内壁开始有环形储灰槽，所述环形储灰槽的横截面设置为矩形。