[实用新型]一种单晶硅片截面打磨用研磨机

说明书

本实用新型涉及研磨机技术领域，且公开了一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有支座，所述工作台的顶端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块，所述工作台的顶端内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一连接板，所述第一连接板的顶端固定连接有第一研磨盘，所述连接块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的底部固定连接有第二研磨盘，所述工作台位于第一连接板的左侧转动连接有转杆。本实用新型可以保证单晶硅片两侧磨盘的转动同步性，提高研磨机的研磨质量，保证单晶硅片的加工效果。

技术领域

本实用新型涉及研磨机技术领域，尤其涉及一种单晶硅片截面打磨用研磨机。

背景技术

在单晶硅片的加工过程中，需要对切片后的单晶硅片进行研磨处理，保证单晶硅片表面足够光滑，从而便于进行后续加工。而在单晶硅片的打磨过程中，需要在单晶硅片的两面采用不同的电机通过研磨盘反向转动进行，而在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量的问题，而提出的一种单晶硅片截面打磨用研磨机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有支座，所述工作台的顶端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块，所述工作台的顶端内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一连接板，所述第一连接板的顶端固定连接有第一研磨盘，所述连接块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的底部固定连接有第二研磨盘，所述工作台位于第一连接板的左侧转动连接有转杆，所述转杆的杆壁上固定套接有第一齿轮，所述第一连接板的侧壁上环绕设有多个第一齿牙，所述第一齿牙与第一齿轮相互啮合设置。

优选的，所述第一连接板的外侧套设有护套，所述第一研磨盘和第二研磨盘的侧壁分别滑动设置在护套的内壁，所述护套的底端侧壁开设有开口。

优选的，所述工作台位于转杆左侧的内壁转动连接有传动杆，所述传动杆的杆壁上固定套接有第二齿轮，所述传动杆的杆壁上固定套接有套筒，所述套筒的筒壁上环绕设有多个条状齿，所述第二连接板的侧壁上环绕设有多个第二齿牙，所述条状齿与第二齿牙相互啮合设置。

优选的，所述第一连接板的顶端内壁滚动设有多个滚珠，所述护套位于第一连接板上方的内壁开设有环形槽，所述滚珠滚动设置在环形槽的内壁。

优选的，所述支撑柱的侧壁上固定连接有加强支撑板，所述加强支撑板背离支撑柱的一侧设置为斜面。

优选的，所述护套位于第一研磨盘上方的内壁开始有环形储灰槽，所述环形储灰槽的横截面设置为矩形。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶硅片截面打磨用研磨机，具备以下有益效果：

1、该单晶硅片截面打磨用研磨机，通过第一连接板和第一齿牙转动拨动第一齿轮和转杆转动，第一齿轮与第二齿轮啮合带动第二齿轮和传动杆转动，使得套筒和条状齿转动，可以拨动第二齿牙和第二连接板转动，使得第一研磨盘和第二研磨盘可以反向转动，可以对单晶硅片进行稳定的研磨处理。

2、该单晶硅片截面打磨用研磨机，通过气缸的活塞杆移动可以带动连接块、第二连接板和第二研磨盘下降，使第二研磨盘可以延伸至护套的内部并与第一研磨盘压紧设置，可以提高单晶硅片在研磨时的稳定性。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型可以保证单晶硅片两侧磨盘的转动同步性，提高研磨机的研磨质量，保证单晶硅片的加工效果。

附图说明