[实用新型]一种氧化铌靶材的制备装置有效
| 申请号： | 202222810444.4 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN219113698U | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张炜 | 申请（专利权）人： | 扬州三和化工有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B47/12;B24B55/06;B24B55/03;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225800 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氧化铌靶材的制备装置，涉及到靶材制备技术领域，包括操作台，所述操作台的中部设置有打磨台，所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板，所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上，所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵，所述抽气泵的进气口连通有软管，所述软管贯穿操作台的侧壁并伸入打磨台的内部，所述固定组件包括导管和吸盘，所述导管的一端在打磨台内部与软管连通，所述导管的另一端与吸盘连通。该氧化铌靶材的制备装置，将氧化铌靶材放置在吸盘上后，启动抽气泵抽气工作，通过软管、导管和吸盘向下吸住氧化铌靶材，从而从顶部对氧化铌靶材进行打磨，保持氧化铌靶材的稳定性，无需夹持，避免出现夹痕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铌靶材 制备 装置 | ||
【主权项】：
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