[实用新型]超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪有效
| 申请号： | 202222783417.2 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN218238706U | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 徐政伟;李存富;尚宇 | 申请（专利权）人： | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01H11/06;G05B19/042;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 朱波 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，包括安装在晶圆传送叉手上的石英片、布置在石英片上的若干个应变片、设置在石英片上的采集电路板、为采集电路供电的电源以及为电源充电与为采集电路板传送数据的若干个数据接口与充电触点，所述采集电路板上集成有对于应变片进行平衡调整以及对应变片采集信号差分运放处理的电路，本实用新型涉及晶圆传送叉手运行数据采集技术领域。该超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，能够简便地安装在晶圆传送叉手上，同时能够有效排除在对于晶圆传送叉手运行数据检测时其他因素的干扰，在设备的实际运行状态，连续精准地记录晶圆传送叉手的形变震动及加减速度曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 柔性 传送 叉手 形变 震动 采集 记录仪 | ||
【主权项】：
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