[实用新型]超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪

权利要求书

1.超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：包括安装在晶圆传送叉手上的石英片、布置在石英片上的若干个应变片、设置在石英片上的采集电路板、为采集电路供电的电源以及为电源充电与为采集电路板传送数据的若干个数据接口与充电触点，所述采集电路板上集成有对于应变片进行平衡调整以及对应变片采集信号差分运放处理的电路，所述采集电路板还集成有对于差分放大后信号进行数据处理的MCU数据处理电路以及用于存储数据的FLASH电路。

2.根据权利要求1所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述应变片为全桥电阻应变片且应变设置的数量为三个分别为应变片A、应变片B与应变片C，所述全桥电阻应变片采用四个温度特性一致的应变片桥接组成。

3.根据权利要求2所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述平衡调整与差分放大处理的电路分别为传感器桥壁平衡调整电路与差分仪表放大器电路，所述传感器桥壁平衡调整电路对于电桥失衡引起的工作点偏差需进行调整，所述差分仪表放大器电路对于经过平衡调整的差分电压信号进行放大处理后，接入MCU数据处理单元的输入端。

4.根据权利要求3所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述传感器桥壁平衡调整电路采用型号为MCP41050具有256抽头的数字电位器由MCU数据处理单元控制进行程序调整，所述差分仪表放大器电路采用AD620信号的差分仪表放大器将差分电压信号放大到0～3V。

5.根据权利要求1所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述石英片通过在下端面设置的可重复实用的不干胶背胶与晶圆传送叉手固定连接，所述应变片、采集电路板与电源均采用硅胶封装在石英片的上端面。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述电源采用片状可充电锂电池，所述数据接口与充电触点均经过镀金处理，所述应变片厚度在0.1mm以下。

7.根据权利要求1-5中任意一项所述的超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，其特征在于：所述MCU数据处理电路还分别与MiniUSB_接口电路、电源管理电路以及开关机管理电路连接，所述FLASH电路中存储器采用SPI Flash。