[实用新型]一种高洁净度硅片烘干槽有效
| 申请号： | 202222768421.1 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN218993858U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 郑严严;李世磊;梁先东 | 申请（专利权）人： | 昆山晟成光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 苏州源禾科达知识产权代理事务所(普通合伙) 32638 | 代理人： | 刘艳春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种高洁净度硅片烘干槽，其包括内部形成有空腔的外壳，所述外壳内部设置有一支撑底板，将所述空腔分隔为上下分布的烘干腔与沥水腔；所述烘干腔的前后内壁表面上设置有若干分散管，所述烘干腔的顶部设置有箱盖，所述支撑底板上设置有若干贯通上下的通口，所述外壳的左侧设置有集气腔，所述分散管的一端延伸至所述集气腔内与所述集气腔连通，所述沥水腔的底部设置有输出口。本实用新型能够有效的及时排出多余的水份，保障硅片烘干过程中烘干槽内的控制质量，及时将烘干槽内带有颗粒的气体排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 硅片 烘干 | ||
【主权项】：
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