[实用新型]一种高洁净度硅片烘干槽

权利要求书

1.一种高洁净度硅片烘干槽，其包括内部形成有空腔的外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内部设置有一支撑底板(2)，将所述空腔分隔为上下分布的烘干腔(3)与沥水腔(4)；所述烘干腔(3)的前后内壁表面上设置有若干分散管(5)，所述烘干腔(3)的顶部设置有箱盖(6)，所述支撑底板(2)上设置有若干贯通上下的通口，所述外壳(1)的左侧设置有集气腔(12)，所述分散管(5)的一端延伸至所述集气腔(12)内与所述集气腔(12)连通，所述沥水腔(4)的底部设置有输出口。

2.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述外壳(1)的底部设置有与所述输出口连接的且竖直向下的第一管路(7)，所述第一管路(7)的中部水平延伸连接有第二管路(8)，所述第二管路(8)的输出端接入至一个排风单元(9)的输入端。

3.如权利要求2所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述第一管路(7)的底部设置有排水管(10)。

4.如权利要求3所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述排水管(10)上设置有单向阀(11)。

5.如权利要求2或3所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述沥水腔(4)的底部形成有便于水渍汇聚至所述第一管路(7)中的斜坡底面。

6.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述外壳(1)上还设置有与所述集气腔(12)连通的进风口(13)。

7.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述支撑底板(2)上设置有对硅片载具进行快速定位的定位底座(14)。

8.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述箱盖(6)受一驱动件(15)驱动进行自动开合动作。

9.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述外壳(1)的外围表面上设置有加强筋(16)。

10.如权利要求1所述的高洁净度硅片烘干槽，其特征在于：所述外壳(1)的内壁表面贴合设置有PVDF或PTFE内衬(17)。