[实用新型]一种新型单晶炉降氧上保温筒有效
申请号: | 202222749425.5 | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN218969434U | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 李国明;王艺澄;王军磊 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 徐澍 |
地址: | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开直拉法生产单晶硅技术领域中的一种新型单晶炉降氧上保温筒,筒体内部是台阶通孔,形成上腔4和下腔,下腔的内径与其下方的中保温筒的内径相同,大于上腔的内径,筒体的侧壁上设有一圈抽成真空的环形的真空槽,真空槽的顶部用顶塞封闭,筒体的外侧壁上包裹一层保温材料,能使单晶炉热场内部氩气流向更加顺畅,加快带走热场内部产生挥发物以及氧原子,防止挥发物在热场石墨件残留,有利于改善单晶炉热场内部拉晶的高纯环境且加大纵向温度梯度,从而减少断线、降氧效果明显,可以有效果保持上保温筒的温度,减少热量散失。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉降氧上 保温 | ||
【主权项】:
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