[实用新型]一种真空镀膜机腔体冷却装置有效
| 申请号： | 202222723057.7 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN219117542U | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张硕堂 | 申请（专利权）人： | 安徽嘉硕真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196 | 代理人： | 杨志胜 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，腔体正面侧开设有开口，腔体正面侧开口处铰接有封闭门，腔体内底壁中部固定连接有工件盘，腔体顶部的一端焊接有固定架，固定架顶端粘接有空调，腔体顶端中部固定贯穿有自带手动阀门的导管，空调出风口处粘接有连接罩，导管的一端固定套设有喇叭罩，喇叭罩的内部设置有风扇。本方案通过启动空调，并打开导管的阀门，使得连接罩和喇叭罩处于连通状态，空调会将冷气从出风口排到连接罩中，并经连接罩传输给导管，而后风扇将导管中的冷气抽出并排到工件盘上，实现对工件盘上的基片进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机腔体 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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