[实用新型]一种搬运装置及涂胶搬运设备有效
| 申请号： | 202222674867.8 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218957753U | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应;魏俊喆;薛朝伟;方亮;宋佳文;汤伟;黄戈龙 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67;B05C1/02;B05C13/02;B05C9/14;B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 张子宽 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种搬运装置及涂胶搬运设备，涉及硅片生产加工技术领域，用于对待搬运基板实现无接触的搬运。搬运装置包括气浮传输平台和非接触式吸盘，气浮传输平台用于向上喷出气流，通过气流使待搬运基板悬浮于气浮传输平台的上方；非接触式吸盘设置在气浮传输平台的上方，非接触式吸盘用于非接触地吸附待搬运基板的上表面，带动待搬运基板沿气浮传输平台的长度方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 装置 涂胶 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
