[实用新型]一种板式镀膜设备用的承载硅片的载板

摘要

本实用新型涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种板式镀膜设备用的承载硅片的载板。本实用新型提供了一种板式镀膜设备用的承载硅片的载板，包括：载板本体，以及呈阵列式开设在载板本体上的若干第一凹槽，所述第一凹槽的平台适于承载工件；所述载板本体上平面固定有若干凸台，所述凸台沿所述第一凹槽四周边缘设置，所述凸台侧壁向所述第一凹槽侧壁设置有一斜坡滑台；其中工件放入所述第一凹槽时，所述斜坡滑台适于引导并限位工件。通过凸台的设置，能够避免硅片在放置前需要精确定位的要求，不至于镀膜在硅片上偏移指定边缘位置，达到太阳能电池需要的镀膜效果，同时减少了对自动化硅片上料精准度要求，减少自动化精准定位所需成本。