[实用新型]一种芯片外延表面微处理装置有效
申请号: | 202222600719.1 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN218101214U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 周建业 | 申请(专利权)人: | 深圳市同和光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人: | 赵英杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种芯片外延表面微处理装置,其技术方案是:包括底板,底板顶部固定连接有固定框,固定框顶部内壁固定连接有微处理装置本体,底板内部开设有两个空腔一,空腔一顶部开设有贯通槽,固定框底部开设有两个凹槽,底板一侧固定设有电机,电机输出端固定连接有转杆,转杆一侧贯穿底板一侧并延伸至空腔一内部,本实用新型的有益效果是:通过固定组件的设置,可以根据外延片的大小去调节压板的位置,对其进行固定并对其表面进行微处理,同时再一面处理完成之后,拉动拉杆后转动圆框,就可以实现对其进行翻面,避免了需要将其在从固定装置上拿下并翻面的步骤,降低了人工的劳动强度,同时增加了处理的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 外延 表面 处理 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造