[实用新型]一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置有效
| 申请号： | 202222520812.1 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN219260174U | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 成都四盛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都东唐智宏专利代理事务所(普通合伙) 51261 | 代理人： | 罗言刚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，所述微型气泵安装在中间盒的上表面，所述微型气泵的右侧设置有冷却盒，所述盖子的内部开设有散气孔，所述冷却盒的内部设置有水袋，所述中间盒的上表面前后两端均固定有侧板，所述把手固定在侧板的上表面。该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，利用2组空心壳快速固定基片，气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 散热 溅射 镀膜 机用基片 转运 装置 | ||
【主权项】：
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