[实用新型]一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置

说明书

本实用新型公开了一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，所述微型气泵安装在中间盒的上表面，所述微型气泵的右侧设置有冷却盒，所述盖子的内部开设有散气孔，所述冷却盒的内部设置有水袋，所述中间盒的上表面前后两端均固定有侧板，所述把手固定在侧板的上表面。该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，利用2组空心壳快速固定基片，气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜机相关技术领域，具体为一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置。

背景技术

通过溅射镀膜机对物体进行镀膜，在溅射镀膜机内被涂覆的物体称基板、基片或基体，镀膜结束后，需要转运结构移动基片，如授权公告号为CN109300831B的中国发明专利公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置，手持把手，进行基片的转运，抽拉拉杆，抽出热气，使得基片散热；

但需要工作人员手动抽拉拉杆，散热效率有待提高，抽出的热气直接流出，会烫伤工作人员。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，以解决上述背景技术中提出的散热效率有待提高、热气直接流出烫伤工作人员的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的右端转动安装在安装板的右端，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，且移动板的下表面固定有空心壳，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，所述安装板的上表面固定有中间盒，所述微型气泵安装在中间盒的上表面，且微型气泵的输出端连接有隔热管道，所述中间盒通过软管与空心壳相连接，所述微型气泵的右侧设置有冷却盒，且冷却盒的右端卡合安装有盖子，所述盖子的内部开设有散气孔，所述冷却盒的内部设置有水袋，且水袋的顶端固定有吊环，所述中间盒的上表面前后两端均固定有侧板，所述把手固定在侧板的上表面。

优选的，所述移动板通过反向丝杆与安装板构成滑动结构，且移动板关于反向丝杆的中心线对称设置。

优选的，所述微型气泵输出端的管道末端穿过冷却盒的左端插入冷却盒的内部。

优选的，所述水袋通过吊钩挂在冷却盒的内部。

优选的，所述空心壳的内端和导热硅胶的内部均开设有穿孔。

优选的，所述把手的顶端安装有隔热套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，利用2组空心壳快速固定基片，气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员；

1.设置有反向丝杆、移动板和空心壳，反向丝杆的旋转带动移动板和空心壳移动，利用2组空心壳快速固定基片；

2.设置有空心壳、导热硅胶和穿孔，空心壳和导热硅胶的内部均开设有穿孔，抽气散热时，热气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热；

3.设置有冷却盒和水袋，散热时，抽出的气体通过微型气泵的输出端流向冷却盒，热气与水袋内的冷水换热后，降低温度的热气从冷却盒内流出，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员。

附图说明

图1为本实用新型正视剖切结构示意图；

图2为本实用新型侧视剖切结构示意图；

图3为本实用新型盖子整体结构示意图；

图4为本实用新型水袋整体结构示意图。