[实用新型]一种光刻胶烘烤装置有效
| 申请号： | 202222461504.6 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN218512793U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张梦杰;梁新夫;林煜斌;李雨;陈伟;陆洋;马方方 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘洋 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光刻胶烘烤装置，包括顶针座、顶针、第一加热板、导热片和驱动件，多个顶针竖直安装在顶针座上，多个顶针均匀排列为顶针阵列，顶针阵列顶端用于放置晶圆，第一加热板上开设有与顶针阵列对应的开孔，顶针活动穿设在开孔中，导热片设置在顶针与晶圆间隙处，驱动件与顶针座底部相连接，用于驱动顶针座沿竖直方向运动。第一加热板发出热量，并将热量传递至顶针上，顶针将第一加热板发出的热量传递至晶圆上，通过在顶针与晶圆间隙处设置导热片，顶针可将热量传递至加热板上，加热板再将热量传递至未能与顶针直接接触的晶圆上，保证了整个晶圆在加热时能受热均匀，为后续制程使用提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
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