[实用新型]一种光刻胶烘烤装置有效
| 申请号： | 202222461504.6 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN218512793U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张梦杰;梁新夫;林煜斌;李雨;陈伟;陆洋;马方方 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘洋 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 烘烤 装置 | ||
1.一种光刻胶烘烤装置，其特征在于，包括：
顶针座(1)；
顶针(2)，多个所述顶针(2)竖直安装在所述顶针座(1)上，多个所述顶针(2)均匀排列为顶针阵列，所述顶针阵列顶端用于放置晶圆(3)；
第一加热板(4)，所述第一加热板(4)上开设有与所述顶针阵列对应的开孔(41)，所述顶针(2)活动穿设在所述开孔(41)中；
导热片(5)，放置在所述顶针(2)与所述晶圆(3)的间隙处；
驱动件(6)，与所述顶针座(1)底部相连接，用于驱动所述顶针座(1)沿竖直方向运动。
2.根据权利要求1所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，当所述晶圆(3)呈下凹式翘曲时，所述导热片(5)位于所述顶针阵列的边缘位置，用于对外侧向上翘起的所述晶圆(3)位置进行传热。
3.根据权利要求1所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，当所述晶圆(3)呈上凸式翘曲时，所述导热片(5)位于所述顶针阵列的中间位置，用于对中间向上翘起的所述晶圆(3)位置进行传热。
4.根据权利要求2所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，所述导热片(5)的水平截面呈圆环形。
5.根据权利要求2所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，所述导热片(5)呈圆弧形且为多个，多个所述导热片(5)沿所述第一加热板(4)的周向间隔设置。
6.根据权利要求3所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，所述导热片(5)的水平截面呈圆形。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，还包括：
底座(7)，所述顶针座(1)设置在所述底座(7)上部，所述底座(7)上开设有安装孔(71)，所述驱动件(6)穿过所述安装孔(71)与所述顶针座(1)相连接；
保温壳(8)，其内部为空腔，所述保温壳(8)扣设在所述底座(7)上，且所述顶针座(1)位于所述保温壳(8)内。
8.根据权利要求7所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，还包括：
第二加热组件(9)，设置在所述保温壳(8)内顶壁上。
9.根据权利要求8所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，所述第二加热组件(9)包括：
顶座(91)，固定安装在所述保温壳(8)内顶壁上；
第二加热板(92)，固定安装在所述顶座(91)底部。
10.根据权利要求1所述的光刻胶烘烤装置，其特征在于，所述顶针(2)的材料包括钨钢。
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