[实用新型]一种无密封槽的真空腔体有效
| 申请号： | 202222242829.5 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN218291086U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 高卫民;马续航;胡青莲 | 申请（专利权）人： | 深圳市新普真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种无密封槽的真空腔体，包括腔体框架以及嵌设于腔体框架各个面的若干密封板，腔体框架包括第一、第二基体法兰以及设置于所述第一、第二基体法兰之间的若干密封柱，密封柱沿着基体法兰的圆周边线设置，用于与密封板相抵接；密封板与密封柱螺纹连接，密封板靠近密封柱的一侧开设有斜槽面，密封柱靠近密封板的一侧设置有挤压棱柱，挤压棱柱与斜槽面相匹配；斜槽面分为第一、第二斜面，以及设于第一斜面与第二斜面夹角处的切割槽，切割槽内设置有用于提升密封性能的第一密封圈。本实用新型设置的斜槽面与挤压棱柱很大程度降低了加工难度，更利于批量生产，此外这种结构设计也提升了腔体的密封性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 空腔 | ||
【主权项】：
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