[实用新型]一种无密封槽的真空腔体有效
申请号: | 202222242829.5 | 申请日: | 2022-08-24 |
公开(公告)号: | CN218291086U | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
发明(设计)人: | 高卫民;马续航;胡青莲 | 申请(专利权)人: | 深圳市新普真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 曾敬 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 密封 空腔 | ||
1.一种无密封槽的真空腔体,包括腔体框架以及嵌设于所述腔体框架各个面的若干密封板,其特征在于,所述腔体框架包括第一基体法兰、第二基体法兰以及设置于所述第一基体法兰和所述第二基体法兰之间的若干密封柱,所述密封柱沿着所述第一基体法兰和所述第二基体法兰的圆周边线设置,及用于与所述密封板相抵接;所述密封板与所述密封柱螺纹连接,所述密封板靠近所述密封柱的一侧开设有斜槽面,所述密封柱靠近所述密封板的一侧设置有挤压棱柱,所述挤压棱柱与所述斜槽面相匹配且抵接;所述斜槽面包括第一斜面和第二斜面,以及设于所述第一斜面与所述第二斜面夹角处的切割槽,所述切割槽内设置有用于提升密封性能的第一密封圈。
2.根据权利要求1所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,所述腔体框架的内部为中空腔体,所述第一基体法兰的顶部设置有真空操作板,所述真空操作板开设有与所述中空腔体连通的真空管,所述真空管的顶部嵌设有管口盖板,所述管口盖板的表面开设有沟槽。
3.根据权利要求2所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,在所述真空操作板靠近所述真空管管壁外周设置有若干真空爪夹,所述真空爪夹顶端设置有爪钩,所述爪钩向所述管口盖板表面弯曲且与所述沟槽钳接。
4.根据权利要求2所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,在所述真空管与所述管口盖板的接缝处套设有第二密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,所述若干密封板包括:第一密封板、第二密封板和第三密封板。
6.根据权利要求5所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,所述第一密封板上设置有若干放气阀,所述第一密封板的内部铺设有冷却水管。
7.根据权利要求5所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,所述第二密封板的内部也铺设有冷却水管,且在所述第二密封板的表面设置有连通所述冷却水管的冷却水接头。
8.根据权利要求5所述的一种无密封槽的真空腔体,其特征在于,在所述第三密封板的表面开设有入料舱门,所述入料舱门与所述第三密封板的接缝处套设有第三密封圈。
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