[实用新型]基座支撑装置及薄膜沉积设备

摘要

本实用新型提供了一种基座支撑装置及薄膜沉积设备，包括基座和旋转轴；所述基座包括第一表面和第二表面，所述第一表面用于放置若干待处理的基片，所述第二表面中心处设置有凹陷部，且所述凹陷部向所述基座内延伸一深度；所述旋转轴的一端设置有凸设部，且所述凸设部与所述凹陷部适配连接，以使所述旋转轴带动所述基座同步发生转动；所述凸设部和所述凹陷部沿着所述旋转轴的径向截面均呈多边形结构；其中，所述凹陷部向所述基座内延伸的深度与所述基座的转速相适配；本实用新型采用径向截面呈多边形结构的凸设部和凹陷部适配连接，避免发生起步打滑；并能减少基座中心凹陷部向基座内延伸的深度，提高了基座温度的均匀性。