[实用新型]热丝折弯结构及热丝装置

摘要

本实用新型公开了热丝折弯结构和热丝装置，属于气相沉积工艺技术领域。该热丝折弯结构包括绕丝件，绕丝件具有绕丝槽，绕丝槽的内壁包括弯折面，热丝插接在热丝槽中，并能够沿着弯折面发生弯折以形成预设的热丝工艺形状，热丝折弯部位表面至绕丝槽槽口处的距离b不小于热丝直径d的2倍。通过将热丝的折弯部位设置在绕丝件的绕丝槽中，既能够使得热丝沿着绕丝槽内的弯折面发生弯折，满足生产所需的热丝工艺形状，并且使得气相沉积过程中的工艺气体至少需要流动2d的距离才能够与热丝折弯部位的表面接触，从而减少工艺气体在热丝折弯部位表面的沉积，减缓热丝折弯部位的薄膜生成速度，也就能够减少热丝于折弯部位损坏的概率，延长热丝的使用寿命。