[实用新型]一种太阳能电池镀膜设备有效
| 申请号: | 202222202616.X | 申请日: | 2022-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN218115587U | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
| 发明(设计)人: | 余宗保;李亮;廖劲;祁凯 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/54;C23C16/458 |
| 代理公司: | 南京安藤洋知识产权代理事务所(普通合伙) 32660 | 代理人: | 孙清晓 |
| 地址: | 223800 江苏省宿*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池镀膜设备,属于镀膜设备领域,包括镀膜箱,所述镀膜箱的内部开设有镀膜腔,且镀膜腔的内部设有镀膜机构,所述镀膜腔的内部中间位置设有硅片载板,且硅片载板一侧面与镀膜腔内壁之间设有磁斥件,所述镀膜箱的一侧面活动连接有两个对称的箱门,且箱门、镀膜腔与硅片载板之间设有载板导送机构,所述载板导送机构,具体包括:第一L型轨道板与第二L型轨道板,所述第一L型轨道板对称设置在镀膜腔内部中间位置,且第一L型轨道板与镀膜腔内壁之间固定连接有条形连板。本实用新型,通过设置的载板导送机构能够在不取下硅片载板的前提下对其进行支撑,便于对镀膜效果进行查看,省时省力。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 镀膜 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





