[实用新型]一种太阳能电池镀膜设备有效
| 申请号: | 202222202616.X | 申请日: | 2022-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN218115587U | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
| 发明(设计)人: | 余宗保;李亮;廖劲;祁凯 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/54;C23C16/458 |
| 代理公司: | 南京安藤洋知识产权代理事务所(普通合伙) 32660 | 代理人: | 孙清晓 |
| 地址: | 223800 江苏省宿*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 镀膜 设备 | ||
本实用新型公开了一种太阳能电池镀膜设备,属于镀膜设备领域,包括镀膜箱,所述镀膜箱的内部开设有镀膜腔,且镀膜腔的内部设有镀膜机构,所述镀膜腔的内部中间位置设有硅片载板,且硅片载板一侧面与镀膜腔内壁之间设有磁斥件,所述镀膜箱的一侧面活动连接有两个对称的箱门,且箱门、镀膜腔与硅片载板之间设有载板导送机构,所述载板导送机构,具体包括:第一L型轨道板与第二L型轨道板,所述第一L型轨道板对称设置在镀膜腔内部中间位置,且第一L型轨道板与镀膜腔内壁之间固定连接有条形连板。本实用新型,通过设置的载板导送机构能够在不取下硅片载板的前提下对其进行支撑,便于对镀膜效果进行查看,省时省力。
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜设备,具体是一种太阳能电池镀膜设备。
背景技术
在各种太阳能电池中,晶体硅电池一直占据着最重要的地位。近年来,在晶体硅太阳电池提高效率方面取得了巨大成就和进展,进一步提高了它在未来光伏应用中的优势地位。背面钝化技术是晶体硅太阳能电池提高效率的有效手段之一,通过背面钝化,有效的提高了太阳电池的开路电压和短路电流,从而提高了太阳电池的转换效率。
目前背面钝化主要是在背面镀制钝化膜,此钝化膜可以选择二氧化硅,三氧化二铝,氮化硅,还可以选择叠层钝化膜,如二氧化硅与氮化硅叠层膜,三氧化二铝与氮化硅叠层膜等。
硅片在完成镀膜后需要拉出来查看镀膜效果如何,若是镀膜效果不佳需要重复镀膜,而现有的镀膜设备只能将硅片载板取下查看,若镀膜效果不佳,重新送入镀膜设备,费时费力。因此,本领域技术人员提供了一种太阳能电池镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池镀膜设备,能够在不取下硅片载板的前提下对其进行支撑,便于对镀膜效果进行查看,省时省力,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种太阳能电池镀膜设备,包括镀膜箱,所述镀膜箱的内部开设有镀膜腔,且镀膜腔的内部设有镀膜机构,所述镀膜腔的内部中间位置设有硅片载板,且硅片载板一侧面与镀膜腔内壁之间设有磁斥件,所述镀膜箱的一侧面活动连接有两个对称的箱门,且箱门、镀膜腔与硅片载板之间设有载板导送机构。
本申请通过设置的载板导送机构能够在不取下硅片载板的前提下对其进行支撑,便于对镀膜效果进行查看,省时省力。
作为本实用新型进一步的方案:所述载板导送机构,具体包括:第一L型轨道板与第二L型轨道板,所述第一L型轨道板对称设置在镀膜腔内部中间位置,且第一L型轨道板与镀膜腔内壁之间固定连接有条形连板,所述第二L型轨道板对称固定在两个箱门内侧面上。
使用时,打开两个箱门,将第二L型轨道板与第一L型轨道板前后对齐,再将硅片载板从第一L型轨道板上向外拉,过程中,硅片载板滑动到第二L型轨道板上,进而使得硅片载板拉出镀膜腔后能够通过第二L型轨道板进行支撑,便于工作人员查看硅片载板上硅片的镀膜效果。
作为本实用新型再进一步的方案:所述条形连板的顶端面沿其长度方向开设有多个通孔。
通孔的设置便于后续的抽真空。
作为本实用新型再进一步的方案:所述箱门的最大转动角度为九十度,且箱门转动九十度时第二L型轨道板与第一L型轨道板前后对齐。
该设置保证箱门完全打开才能拉出硅片载板,且只有箱门完全打开才能使硅片载板从第一L型轨道板上外拉至第二L型轨道板上。
作为本实用新型再进一步的方案:所述第二L型轨道板一端嵌有全氟醚橡胶垫,且全氟醚橡胶垫侧面与硅片载板侧面固定的把手接触。
全氟醚橡胶垫耐高温,且全氟醚橡胶垫的设置能够在合上箱门时,避免把手抵在第二L型轨道板上导致二者产生磨损。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





