[实用新型]MEMS谐振器及其振臂组件有效
| 申请号： | 202222200554.9 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN218217326U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;蒋铠宇;吴振云 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 强珍妮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS谐振器及其振臂组件；其中，所述MEMS谐振器振臂组件包括锚固件和振臂；振臂于长度方向上间隔设置有固定端和自由端；所述固定端与所述锚固件连接，所述振臂被配置为靠近所述固定端的根部区域以及靠近所述自由端的头部区域，所述头部区域的质量大于所述根部区域的质量。本申请通过将振臂沿所述振臂长度方向划分成靠近固定端的根部区域和靠近自由端的头部区域，使头部区域的质量大于根部区域的质量，从而利用这一质量分布特征降低了工艺偏差对谐振频率的影响。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 及其 振臂 组件 | ||
【主权项】：
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