[实用新型]一种用于PECVD设备的炉桨平移支撑机构

摘要

本实用新型提供一种用于PECVD设备的炉桨平移支撑机构，包括桨固定座和防撞模块，桨固定座包括桨平移板、平行而设的两个固定侧板、设置在固定侧板上面的支撑板和固定侧板之间的加强肋，固定侧板一端垂直的设置在桨平移板上，防撞模块设置在桨固定座的其中一个固定侧板的外壁上，包括安装板和橡胶滚轮，橡胶滚轮连接在安装板的一端，橡胶滚轮凸出桨平移板的边线。通过对桨支撑座的结构进行优化，提高桨平移时的稳定性，节约成本。