[实用新型]一种准分子激光器虚焦点定位装置有效
| 申请号： | 202222177300.X | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN217903677U | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 苏国兵;魏晓马 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/101 | 分类号： | H01S3/101;H01S3/03 |
| 代理公司： | 北京慧智兴达知识产权代理有限公司 11615 | 代理人： | 李丽颖 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种准分子激光器虚焦点定位装置，该装置包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。本实用新型的装置，能够在氮气环境下精确地对激光器的虚焦点位置进行定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 焦点 定位 装置 | ||
【主权项】：
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