[实用新型]一种准分子激光器虚焦点定位装置

权利要求书

1.一种准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述衰减组件包括可旋转的高反镜，通过调节所述高反镜的角度，控制透过所述高反镜的光的衰减变化。

3.根据权利要求2所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述衰减组件还包括旋转支架，所述高反镜安装在所述旋转支架上，通过所述旋转支架的旋转来调节所述高反镜在光路中的角度。

4.根据权利要求1所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述衰减组建密封在第一箱体中，所述聚焦透镜和接收器密闭在第二箱体中,所述第一箱体和所述第二箱体通过导光管密闭连接。

5.根据权利要求4所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述装置还包括上位机，所述上位机对所述接收器接收的光束的能量进行分析，并根据分析结果分别产生所述衰减组件的旋转指令和所述接收器的移动指令。

6.根据权利要求5所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述装置还包括旋转控制器，所述旋转控制器设置在所述第一箱体的底部，所述旋转控制器接收到所述上位机的旋转指令，控制所述衰减组件进行旋转调节。

7.根据权利要求5所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述装置还包括移动控制器，所述移动控制器设置在所述第二箱体的底部，所述移动控制器接收到所述上位机的移动指令，控制所述接收器沿着激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜。

8.根据权利要求7所述的准分子激光器虚焦点定位装置，其特征在于，所述接收器包括CCD相机和移动平台，所述CCD相机可移动地设置在所述移动平台上，所述移动控制器根据所述移动指令控制所述CCD相机在所述移动平台上移动。