[实用新型]一种准分子激光器虚焦点定位装置

说明书

本实用新型公开了一种准分子激光器虚焦点定位装置，该装置包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。本实用新型的装置，能够在氮气环境下精确地对激光器的虚焦点位置进行定位。

技术领域

本实用新型属于光学器件技术领域，尤其涉及一种准分子激光器虚焦点定位装置。

背景技术

准分子激光器的光束包含一定的发散角，且激光器内部光路非常长，激光光束如果聚焦位置在其内部光学元件上，可能会导致该光学元件上的光能量密度很大，光学元件就会产生损伤。因此，为避免激光束在光学元件上聚焦，需要对激光器虚焦点位置进行准确测量，以提高光学元件的防护，延长光学元件使用寿命。

然而，目前对准分子激光脉光束虚焦点位置定位的主要方式是单纯依靠调试者个人主观的工作经验对光学元件进行相关位置调整而完成。调试者自身的工作经验、个人的技术素质、当时的工作环境、主观判断完成光路调整，均成为准分子激光虚焦点精确定位的工作易错点。并且在人为因素的干扰下，定位激光光束虚焦点位置需要反复调试，但整个工作需要在氮气密封环境下进行，工作繁琐且定位不准确。因此，为克服以上现有存在的技术缺陷，有必要提供一种结构简单合理，可实现精确自动调节定位，操作快速便捷的激光器虚焦点精确定位装置。

实用新型内容

为解决背景技术中提及的技术问题，本实用新型提供的一种准分子激光器虚焦点定位装置，以解决现有技术中准分子激光器虚焦点位置难定位的问题。

为实现上述目的，本实用新型的一种准分子激光器虚焦点定位装置的具体技术方案如下：

本实用新型的一个方面，提供一种准分子激光器虚焦点定位装置，包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。

进一步地，所述衰减组件包括可旋转的高反镜，通过调节所述高反镜的角度，控制透过所述高反镜的光的衰减变化。

进一步地，所述衰减组件还包括旋转支架，所述高反镜安装在所述旋转支架上，通过所述旋转支架的旋转来调节所述高反镜在光路中的角度。

进一步地，所述衰减组建密封在第一箱体中，所述聚焦透镜和接收器密闭在第二箱体中，所述第一箱体和所述第二箱体通过导光管密闭连接。

进一步地，所述装置还包括上位机，所述上位机对所述接收器接收的光束的能量进行分析，并根据分析结果分别产生所述衰减组件的旋转指令和所述接收器的移动指令。

进一步地，所述装置还包括旋转控制器，所述旋转控制器设置在所述第一箱体的底部，所述旋转控制器接收到所述上位机的旋转指令，控制所述衰减组件进行旋转调节。

进一步地，所述装置还包括移动控制器，所述移动控制器设置在所述第二箱体的底部，所述移动控制器接收到所述上位机的移动指令，控制所述接收器沿着激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜。

进一步地，所述接收器包括CCD相机和移动平台，所述CCD相机可移动地设置在所述移动平台上，所述移动控制器根据所述移动指令控制所述CCD相机在所述移动平台上移动。

本实用新型所述的准分子激光器虚焦点定位装置，通过控制接收器的移动确定光束最小位置，进而确定激光器虚焦点位置，光束最小位置可通过接收器的移动进行精确定位，避免人为因素，定位更为准确。