[实用新型]一种用于二维材料制备的垂直式化学气相沉积装备

摘要

本实用新型公开了一种用于二维材料制备的垂直式化学气相沉积装备，旨在解决现有制备二维材料的高温反应炉存在许多缺陷或不足，包括：空气中的物质对源材料和衬底的污染、气态的源材料在反应炉中分布/传输不均匀、无法对衬底表面进行预处理与改性等，最终导致所制备的二维材料质量差的问题，包括有：垂直式腔体结构的反应室；至少一个设置于反应室上的加热装置；至少一个连通于反应室的气路系统；设置于反应室内的样品生长及传递件；布置于反应室顶部的真空系统。本实用新型尤其适用于高质量二维材料的均匀制备，具有较高的社会使用价值和应用前景。