[实用新型]一种直拉单晶炉在线式热场再生系统有效
| 申请号： | 202222141087.7 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN218262829U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 张军彦;冯文彪;王晓峰;白枭;李媛 | 申请（专利权）人： | 山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 张敏;崔雪花 |
| 地址： | 030032 山西省太原*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直拉单晶炉在线式热场再生系统，属于半导体技术领域；包括载气提供装置和工艺气体提供装置；载气提供装置和工艺气体提供装置通过进气管路与直拉单晶炉副室相连接，直拉单晶炉连接有抽气管路；抽气管路与直拉单晶炉的连接处位于保温筒底部以下；载气提供装置提供的载气为惰性气体，工艺气体提供装置提供的工艺气体为卤素气体；本实用新型通过载气和工艺气体的有序流动，在高温状态下与炉内杂质反应将其有效去除，延长了单晶炉内部炭素材料的寿命；提升了单晶棒的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶炉 在线 式热场 再生 系统 | ||
【主权项】：
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