[实用新型]一种多排存放硅片清洗花篮

摘要

本实用新型提供一种多排存放硅片清洗花篮，所述花篮包括相对平行设置的第一挡板与第二挡板；所述第一挡板与第二挡板之间左右两侧的侧缘分别设置有若干组相对应的第一侧挡杆与第二侧挡杆；任一组所述第一侧挡杆与第二侧挡杆之间等间隔设置有至少一个两端分别固定于第一挡板与第二挡板之间的中间档板；所述中间档板两侧及与其两侧相应的第一侧挡杆、第二侧挡杆的内侧分别对应设置有硅片插槽；还包括承载杆，所述承载杆设置于相应两所述硅片插槽的下端两侧。本实用新型能够同时存放多排硅片，能够同时满足多倍数量的硅片清洗作业，减少了花篮投放与取出的次数与频率，不仅降低了工人的劳动强度，而且提高了硅片清洗效率。