[实用新型]一种碳化硅炉真空压力调控装置有效
| 申请号： | 202222062784.3 | 申请日： | 2022-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN218235378U | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陈士利;贺贤汉;赖章田;夏孝平;陈有生;周旭阳 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/10;F04B51/00;F04B49/08;F04D19/04;F04D29/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种碳化硅炉真空压力调控装置，包括生长炉，生长炉的上方连接一充气系统，生长炉的右侧连接第一抽气支路和第二抽气支路，第一抽气支路包括第一比例控制阀和真空泵，第一比例控制阀和真空泵分别通过真空管路与生长炉连接，真空泵还与一排放管路连接，第二抽气支路包括插板阀、分子泵和第二比例控制阀，第二抽气支路通过真空管路与第一抽气支路和生长炉导通；生长炉的右侧还连接超压保护支路和真空释放支路，超压保护支路包括一单向阀，单向阀的一端通过真空管路连接生长炉，单向阀的另一端与排放管路连接，真空释放支路包括电动加气阀和手动加气阀，电动加气阀和手动加气阀分别安装在真空管路上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 真空 压力 调控 装置 | ||
【主权项】：
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