[实用新型]隔离式进气装置

摘要

本实用新型提供了一种隔离式进气装置，涉及半导体设备的技术领域，包括进气主体和喷头结构；进气主体内设置有至少两条隔离通道，每条隔离通道呈单独连通，进气主体与喷头结构连接，且多条隔离通道分别与喷头结构连通，通过利用每个单独的隔离通道分别进行气体输送，同时每条隔离通道进行使用时，均可以保证每条隔离通道分别对喷头结构内输送多种气体，缓解了现有技术中存在的各种功能气体共用通道造成多站薄膜性能表现不一致，以及利用阀门隔断无法保证调控同时提高维护成本的技术问题。