[实用新型]半导体外延设备专用鼓风机有效
| 申请号： | 202222029526.5 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN218118070U | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 曹见丽;刘永 | 申请（专利权）人： | 淮安璟凌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D25/06 | 分类号： | F04D25/06;F04D29/60;F04D29/40;F04D29/26;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 喻秦海 |
| 地址： | 223000 江苏省淮安市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体外延设备专用鼓风机，包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；外壳体的内周设有若干凸键，定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，外套体适配于外壳体内，外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，外套体的外周设有若干键槽，且各凸键一一对应插入各键槽内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，定子线圈设于内套体内，转子组件前端的转轴上安装有叶轮，接线组件包括电连接器和导线，电连接器设于外壳体外，导线的一端与电连接器相连，导线的另一端依次穿过外壳体上的第一通孔和键槽、外套体上的缺口和内套体上第二通孔后与定子线圈相连。本实用新型解决了现有的鼓风机不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 外延 设备 专用 鼓风机 | ||
【主权项】：
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