[实用新型]一种硅片脱胶机有效
| 申请号： | 202221966044.6 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN218133599U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 曹绍文;安保贞;孟蕊;刘顺亮 | 申请（专利权）人： | 阳光硅谷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 065200 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请提供一种硅片脱胶机，包括：脱胶机构，包括依次排列的进料槽、喷淋槽、第一脱胶槽、第二脱胶槽和出料槽，第一脱胶槽和第二脱胶槽中存放有脱胶溶液；移动机构包括滑轨和移动滑块，滑轨设置在脱胶机构外侧，移动滑块与滑轨连接；竖向伸缩机构包括第一竖向杆和第二竖向杆，第一竖向杆与移动滑块固定连接，第二竖向杆可以进行伸缩；横向伸缩机构包括第一横向杆与第二横向杆，第一横向杆与第二竖向杆连接，第二横向杆能够在水平方向上进行伸缩；清洗机构包括第一夹紧喷头和第二夹紧喷头；循环机构，分别与脱胶机构和清洗机构连接，用于向清洗机构输送脱胶溶液。有效避免硅片表面硅粉富集，提高了硅片表面在脱胶结束后的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 | ||
【主权项】：
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