[实用新型]一种硅片脱胶机

权利要求书

1.一种硅片脱胶机，其特征在于，包括：

脱胶机构，包括依次排列的进料槽(110)、喷淋槽(120)、第一脱胶槽(130)、第二脱胶槽(140)和出料槽(150)，所述第一脱胶槽(130)和所述第二脱胶槽(140)中存放有脱胶溶液；

移动机构，包括滑轨(210)和移动滑块(220)，所述滑轨(210)设置在所述脱胶机构外侧并沿所述脱胶机构的长度方向布置，所述移动滑块(220)与所述滑轨(210)可滑动地连接；

竖向伸缩机构，包括第一竖向杆(310)和第二竖向杆(330)，所述第一竖向杆(310)与所述移动滑块(220)固定连接，所述第二竖向杆(330)与所述第一竖向杆(310)滑动连接，且可以在竖直方向上进行伸缩；

横向伸缩机构，包括第一横向杆(410)与第二横向杆(430)，所述第一横向杆(410)与所述第二竖向杆(330)固定连接，所述第二横向杆(430)与所述第一横向杆(410)滑动连接，且能够在水平方向上进行伸缩；

清洗机构，设置在所述横向伸缩机构上，包括第一夹紧喷头(510)和第二夹紧喷头(520)，用于通过所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)由两侧向连接硅片脱胶机(100)的中空板(103)内注入脱胶溶液以冲洗所述硅片脱胶机(100)；

循环机构，分别与所述脱胶机构和所述清洗机构连接，用于向所述清洗机构输送脱胶溶液。

2.根据权利要求1所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述滑轨(210)设置在所述脱胶机构的脱胶槽的相对一侧。

3.根据权利要求2所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述竖向伸缩机构还包括：

竖向伸缩电机(320)，设置在所述第一竖向杆(310)背离所述移动滑块(220)的一端，所述第二竖向杆(330)设置在所述竖向伸缩电机(320)内，用于在所述竖向伸缩电机(320)的驱动下沿竖直方向伸缩。

4.根据权利要求3所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述第二竖向杆(330) 的伸缩距离为40-100厘米。

5.根据权利要求4所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述横向伸缩机构还包括：

横向伸缩电机(420)，设置在所述第一横向杆(410)上，所述第二横向杆(430)设置在所述横向伸缩电机(420)内，用于在所述横向伸缩电机(420)的驱动下沿水平方向伸缩。

6.根据权利要求5所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述第二横向杆(430)的伸缩距离为600-1300厘米。

7.根据权利要求5所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述第一夹紧喷头(510)与所述第一横向杆(410)固定连接；

所述第二夹紧喷头(520)与所述第二横向杆(430)固定连接并与所述第一夹紧喷头(510)对称设置，用于在所述横向伸缩电机(420)的驱动下与所述第一夹紧喷头(510)配合，分别在连接硅片脱胶机(100)的中空板(103)的两侧，以向中空板(103)内注入脱胶溶液冲洗所述硅片脱胶机(100)。

8.根据权利要求7所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述循环机构包括：

循环槽(610)，用于存放脱胶溶液；

第一水泵(620)，包括进水端和出水端，所述进水端与所述循环槽(610)连通，所述出水端分别于所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)连通，用于从所述循环槽(610)中抽取脱胶溶液并分别输送至所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)。

9.根据权利要求8所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述循环机构还包括：

循环管(640)，所述循环管(640)为多通管道，与脱胶槽连通；

第二水泵(630)，分别于所述循环管(640)和所述循环槽(610)连通，用于从所述脱胶槽内抽取脱胶溶液并输送至所述循环槽(610)内。

10.根据权利要求1所述的硅片脱胶机，其特征在于，所述脱胶机构上方设置有抓钩(700)，用于抓取所述硅片脱胶机(100)。