[实用新型]一种硅片脱胶机有效

专利信息
申请号: 202221966044.6 申请日: 2022-07-28
公开(公告)号: CN218133599U 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 曹绍文;安保贞;孟蕊;刘顺亮 申请(专利权)人: 阳光硅谷电子科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 刘煜
地址: 065200 河北省廊坊市*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 脱胶
【说明书】:

本申请提供一种硅片脱胶机,包括:脱胶机构,包括依次排列的进料槽、喷淋槽、第一脱胶槽、第二脱胶槽和出料槽,第一脱胶槽和第二脱胶槽中存放有脱胶溶液;移动机构包括滑轨和移动滑块,滑轨设置在脱胶机构外侧,移动滑块与滑轨连接;竖向伸缩机构包括第一竖向杆和第二竖向杆,第一竖向杆与移动滑块固定连接,第二竖向杆可以进行伸缩;横向伸缩机构包括第一横向杆与第二横向杆,第一横向杆与第二竖向杆连接,第二横向杆能够在水平方向上进行伸缩;清洗机构包括第一夹紧喷头和第二夹紧喷头;循环机构,分别与脱胶机构和清洗机构连接,用于向清洗机构输送脱胶溶液。有效避免硅片表面硅粉富集,提高了硅片表面在脱胶结束后的洁净度。

技术领域

实用新型涉及硅片清洗领域,具体涉及一种硅片脱胶机。

背景技术

随着光伏行业持续发展,硅片技术越来越倾向于细线化,薄片化,硅片切割中所产生的硅粉颗粒越来越细微,硅粉颗粒附着力强,导致清洗时硅片表面附着的硅粉很难清洗,影响硅片表面质量。

此外,市面上硅片清洗工序是将切割完成的硅片放入工装中并置入加入乳酸的热水中进行浸泡,用热水及酸性物质对硅片进行脱胶和清洗,此时硅片层层堆叠且清洗硅片的水不发生流动,无法带走硅片表面富集团聚的硅粉,也无法有效软化树脂板与硅片之间的胶层,影响了后续清洗效率。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型提供一种硅片脱胶机,用以解决硅片清洗液不流通,清洗效率低的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:

根据本实用新型实施例的一种硅片脱胶机,包括:

脱胶机构,包括依次排列的进料槽、喷淋槽、第一脱胶槽、第二脱胶槽和出料槽,第一脱胶槽和第二脱胶槽中存放有脱胶溶液;

移动机构,包括滑轨和移动滑块,滑轨设置在脱胶机构外侧并沿脱胶机构的长度方向布置,移动滑块与滑轨可滑动地连接;

竖向伸缩机构,包括第一竖向杆和第二竖向杆,第一竖向杆与移动滑块固定连接,第二竖向杆与第一竖向杆滑动连接,且可以在竖直方向上进行伸缩;

横向伸缩机构,包括第一横向杆与第二横向杆,第一横向杆与第二竖向杆固定连接,第二横向杆背离第一横向杆并与第一横向杆滑动连接,且能够在水平方向上进行伸缩;

清洗机构,设置在横向伸缩机构上,包括第一夹紧喷头和第二夹紧喷头,用于通过第一夹紧喷头和第二夹紧喷头由两侧向连接硅片的中空板内注入脱胶溶液以冲洗硅片;

循环机构,分别与脱胶机构和清洗机构连接,用于向清洗机构输送脱胶溶液。

在本实用新型的一个实施例中,滑轨设置在脱胶机构的脱胶槽的相对一侧。

在本实用新型的一个实施例中,竖向伸缩机构还包括:

竖向伸缩电机,设置在第一竖向杆背离移动滑块的一端,第二竖向杆设置在竖向伸缩电机内,用于在竖向伸缩电机的驱动下沿竖直方向伸缩。

在本实用新型的一个实施例中,第二竖向杆的伸缩距离为40-100厘米。

在本实用新型的一个实施例中,横向伸缩机构还包括:

横向伸缩电机,设置在第一横向杆上,第二横向杆设置在横向伸缩电机内,用于在横向伸缩电机的驱动下沿水平方向伸缩。

在本实用新型的一个实施例中,第二横向杆的伸缩距离为600-1300厘米。

在本实用新型的一个实施例中,第一夹紧喷头与第一横向杆固定连接;

第二夹紧喷头与第二横向杆固定连接并与第一夹紧喷头对称设置,用于在横向伸缩电机的驱动下与第一夹紧喷头配合,分别在连接硅片的中空板的两侧,以向中空板内注入脱胶溶液冲洗硅片。

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