[实用新型]扫描电镜有效
| 申请号： | 202221840399.0 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN218121818U | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 吴天成;潘结春;唐琪杰;张伟 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李雪静 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：导轨、支架、负载台、驱动件，所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动，所述负载台支撑于所述支架上；所述驱动件与所述支架传动连接，以驱动所述支架移动，所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。通过应用上述技术方案，驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 | ||
【主权项】：
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