[实用新型]扫描电镜

权利要求书

1.一种扫描电镜，其特征在于，包括：

导轨；

支架，所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动，

负载台，所述负载台支撑于所述支架上；

驱动件，所述驱动件与所述支架传动连接，以驱动所述支架移动，所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜，其特征在于，所述扫描电镜还包括：

丝杆，所述丝杆与所述支架螺纹传动连接，所述丝杆与所述导轨同向延伸；

传送带，所述传送带与所述驱动件和所述丝杆传动连接。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜，其特征在于，所述导轨沿第一方向延伸，并包括沿第二方向相对排布的至少两个，且所述驱动件与所述导轨沿所述第二方向排布，并位于多个所述导轨的外侧。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜，其特征在于，所述扫描电镜还包括：

齿条，所述齿条与所述支架固定连接，并与所述导轨同向延伸；

齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合；

第一涡轮，所述第一涡轮与所述齿轮同轴固定连接；

第一蜗杆，所述第一蜗杆与所述第一涡轮啮合，且所述第一蜗杆与所述驱动件传动连接。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜，其特征在于，所述导轨沿第三方向延伸，并包括沿第一方向相对排布的至少两个，且所述驱动件与所述导轨沿第二方向排布，并位于多个所述导轨的外侧。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的扫描电镜，其特征在于，所述驱动件与所述导轨平行布置。

7.一种扫描电镜，其特征在于，包括：

第一导轨，所述第一导轨沿第一方向延伸；

位移台，所述位移台与所述第一导轨相连并沿所述第一导轨可移动，

负载台，所述负载台支撑于所述位移台上；

第一驱动件，所述第一驱动件与所述位移台传动连接，以驱动所述位移台移动，所述第一驱动件与所述第一导轨沿第二方向相对设置，所述第二方向垂直于所述第一方向。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜，其特征在于，所述位移台包括：

第二导轨，所述第二导轨沿第一方向可移动地与所述第一导轨相连，并由所述第一驱动件驱动，所述第二导轨沿第二方向延伸；

第一支撑座，所述第一支撑座与所述第二导轨相连，并沿第二方向可移动；

第二驱动件，所述第二驱动件与所述第一支撑座传动连接以驱动所述第一支撑座移动，其中，第二驱动件与所述第一驱动件设于所述扫描电镜的同一侧。

9.根据权利要求8所述的扫描电镜，其特征在于，所述位移台还包括：

第三导轨，所述第三导轨沿第二方向可移动地与所述第二导轨相连，并由所述第二驱动件驱动，所述第三导轨沿第三方向延伸；

第二支撑座，所述第二支撑座与所述第三导轨相连，并沿第三方向可移动；

第三驱动件，所述第三驱动件与所述第二支撑座传动连接以驱动所述第二支撑座移动，其中，所述第三驱动件与所述第三导轨沿第二方向相对设置。

10.根据权利要求8所述的扫描电镜，其特征在于，所述位移台还包括：

第三支撑座，所述第三支撑座可摆动地与第二支撑座相连，所述负载台设于所述第三支撑座上；

第二涡轮，所述第二涡轮与所述第三支撑座相连，所述第二涡轮的轴线沿水平方向延伸；

第二蜗杆，所述第二蜗杆与所述第二涡轮啮合；

第四驱动件，所述第四驱动件与所述第二蜗杆传动连接。